更新時(shí)間：2023-04-25
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微波和真空器件多，特別是高壓陶瓷件多，運(yùn)行時(shí)間長，有時(shí)發(fā)生陶瓷裂縫導(dǎo)致真空泄露。如果區(qū)段閥不及時(shí)關(guān)閉，能在幾分鐘內(nèi)使整個(gè)加速器暴露大氣，導(dǎo)致電子槍陰柵組件，速調(diào)管陶瓷窗，離子泵的損壞。從發(fā)現(xiàn)問題到現(xiàn)場手動(dòng)關(guān)閉閥門，時(shí)間不容許，為使發(fā)生真空泄漏時(shí)，損失減到小，需要一種可監(jiān)控各區(qū)段真空，和及時(shí)自動(dòng)關(guān)閉區(qū)段閥的控制系統(tǒng)。由于閥門動(dòng)關(guān)閉，可以保護(hù)其它區(qū)段的真空。維修人員可以有的放矢地針對某一破壞的區(qū)段進(jìn)行檢漏和維修，使設(shè)備損失和真空恢復(fù)時(shí)間減到小。
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